品名: X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT9400
型號: SFT9400系列
概要: SFT9000系列里機型“SFT9455"，搭載75W高速X射線管和雙重檢驗裝置(半導體檢驗裝置十比例計數管)。適用“薄膜"、“金屬膜"、“極微小部分測定"等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜厚測量儀器。而且“SFT9455"在鍍膜厚度測量功能的基礎上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。
特長
搭載雙向分離工檢測器（半導體檢測器+比例計數管）：搭載在X射線能量分辨率上，優秀的半導體檢測器（起作用液化氮）和計數率優秀的比例計數管，能夠根據運用需要對應使用。特點是半導體檢測器，能夠區分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點：
1.能夠對Ni/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進行測定。
2.對于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進行高精度的Au鍍膜厚度測定。
3.能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜。
4.薄膜FP軟件：對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領域。
5.適用測定極微小部分,15μmΦ的準直管為標準裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。
6.搭載75W高性能X射線管。
7.容易對微小領域進行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統。
8.能夠測定大型打印基板的大型平臺。
9.依據照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品。
10.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
11.利用伺服馬達精確的驅動平臺。
12.正確的對焦,利用激光能夠正確得對焦測試樣品。
13.報告制作軟件,運用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數據制作成書面材料。
| 型號 | SFT9455系列 | | 測定元素 | 原子序號22（Ti）~ 83（Bi） | | X射線管 | 管電壓：50kV管電流：1.5mA | | 檢測器 | 半導體檢測器+比例計數管 | | 準直器 | 4種（0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ） | | 樣品觀察 | CCD照相機（帶可變焦距功能） | | 對焦 | 激光向導 | | 過濾器 | 電動切換（一次: Mo、二次: Co） | | X-ray Station | 電腦、17英寸CRT | | 打印 | 噴墨打印機 | | 膜厚測定系統 | 薄膜FP法，檢測線法 | | 材料分析系統 | 體積FP法 | | 測定功能 | 自動測定、中心檢索、畫像處理 | | 補正功能 | 材料補正，已知樣品補正 | | 定性功能 | KL標記、比較顯示 | | 統計處理功能 | 預裝Microsoft-EXCEL® | | 報告制作功能 | 預裝Microsoft-WORD® | | 安全機能 | 樣品門鎖定
防止樣品碰撞樣品
裝置診斷功能 | | 電源 | 100V 15A |
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