電子薄膜應力分布測試儀主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多,能給出全場面型分布結果,適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究。
電子薄膜應力分布測試儀 基片曲率半徑測量測試儀 光學零件平整度面形檢測儀 微電子生產半導體基片檢測儀
型號JC06-DZ
該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多,能給出全場面型分布結果,適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理,可實時觀測面型的分布,迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置,及時淘汰早期失效產品。
主要技術指標
zui大樣品尺寸≤100mm（4英寸）
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時間3分鐘/片
結果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸（L×W×H）285mm×680mm×450mm
重量36kg
