昆山華乃爾精密儀器有限公司
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在線film膜厚測試儀
X軸測量 | 自動 |
測量寬度 | 2m（可根據客戶要求調整） |
X軸移動速度 | 0.1m/s |
單向掃描時間 | 18秒測18個點(標準) |
馬達傳動系統 | 1套 |
大型滑軌 | 2.0m（可根據用戶要求調整） |
大支架 | 1套 |
控制箱+線槽 | 1個（PCB板，連線，電源，路由器） |
電腦配置
網線 | 25米超5類線 |
網絡適配器 | 路由器+其他網絡配件 |
電腦(臺式機一臺) | 19寸TFT顯示屏， Intel CPU ，鼠標+鍵盤+3年保質期 |
測量系統配置
反射（0度入射角）配件 | 光學器件，光源， 特殊機械配件， 光纖光譜儀，光纖， 硅片 |
技術參數(光學部分):
測試方式 | 膜面反射 |
波長范圍 | 380-820（可見光）濕膜/380-1050(可見光),干膜 |
厚度測量范圍 | 100納米-200微米（可見光） |
精度 | 0.5%(30次單點測量1階標準差) |
測量單點時間 | 小于1秒 |
測量點 | 1mm (0度角反射) |
光源和壽命 | 鎢鹵素燈 平均預期壽命10,000小時 |
操作環(huán)境 | 5-35度；5-90%不結霜 |
入射角 | 0度角 |
表中的性能指標還和材料，膜層結構，粗糙度等有關
軟件
1套 | 一套測量軟件和膜厚仿真擬合軟件 |
軟件系統功能：
1、光譜反射，計算出膜厚參數； |
2、系統有手動、自動、系統校準模式。手動模式時，可在計算機上控制測量，膜到位后，按測量按鈕即測量該點的光譜膜厚；自動測量模式時在膜到位后進行自動測量；系統校準模式時，檢查系統設置，硬件狀態(tài)等。 |
3、膜厚度的歷史趨勢曲線，豐富的公差和報警閾值設定功能，如可設定公差帶和報警閾值。 |
4、存儲、管理測量系統的測量結果，方便回溯 |
5．仿真不同角度的膜面反射反射光譜曲線。可用于膜系開發(fā)。 |
6、具有數據人工備份功能，以防數據意外丟失；系統安裝完畢后，提供系統備份硬盤，防止原始系統意外損壞； |
7、打印顏色參數掃描曲線，數據表，打印光譜曲線，打印屏幕圖像等功能； |
8、系統全部操作均在控制室內計算機上完成。 |
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