北京頗特儀器有限公司
美國BESTACE 5系列氣體質量流量計/控制器 量程0~5SCCM到0~30SLPM,316L不銹鋼主體,低價位,適合OEM 市場價: 0.00 價格: 0.00
BESTACE 5系列氣體質量流量計及控制器,采用了316不銹鋼接液材質,具有高穩定性、耐用性、低價位、小體積等優點,被廣泛用于設備配套、過程控制、測試設備等場合。
5系列產品采用了熱式測量原理,因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點,且無需平方根修正。同時采取了毛細管取樣方式,具有極低的能耗。每臺設備出廠前都會按照客戶指定的氣體、量程,嚴格地按照NIST標準進行出廠校準,同時,比例調節閥嵌入在流體通道內,從而保證了精巧的體積。
技術參數
原理:熱式原理
量程:流量計5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材質:接液部位:316L不銹鋼
密封材質:標配氟橡膠(Viton);丁納橡膠(Buna)
泄漏率:不超過1×10 毫升/秒,氦氣
環境溫度及介質溫度:0-60℃
精度:1%F.S(包括線性精度)
量程比:100:1
響應時間:1S
重復性:優于0.15%F.S
壓力極限:500PSIG
壓降:流量計:250Pa
控制器:7-14kPa(500SCCM以下)
控制器:35kPa(500SCCM-20SLPM)
電源:24VDC@250mA(流量計)24VDC@350mA(控制器)
輸出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入電源)
設定點信號:內置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳線)
電氣連接:9針D接口(9 Pin Sub D)
溫度影響系數:優于0.05%F.S/℃
壓力影響系數:優于0.01%F.S/PSI
標準溫度:21℃
標準壓力:760Torr
重量:流量計:440g 控制器:460g
認證:CE
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