寧波美森克斯儀器有限公司
LIP-SPM100T系列為熱式質量流量控制器,采用熱式原理實現對氣體流量的精確控制,流量傳感器采用毛細管傳熱溫差測量原理測量氣體的質量流量,控制器工作時將傳感器加熱電橋測得的微弱信號放大測量,轉換成流量后與設定流量進行比較,根據差值計算出控制調節閥門的開度,進而實現流量的精確控制
LIP-SPM100T系列為熱式質量流量控制器,采用熱式原理實現對氣體流量的精確控制,流量傳感器采用毛細管傳熱溫差測量原理測量氣體的質量流量,控制器工作時將傳感器加熱電橋測得的微弱信號放大測量,轉換成流量后與設定流量進行比較,根據差值計算出控制調節閥門的開度,進而實現流量的精確控制。該系列的精度源于傳感器探頭,此密封探頭有兩個傳感元件組成——速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱至高于氣體/液體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體質量流量成正比的原理計算流量。
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