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S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺
S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產生 θx、θy 兩軸偏轉及 Z 向直線運動，中心具有大型通孔，適于透射光等應用。
產品特點
θx、θy 偏擺，Z 向升降
閉環定位精度高
響應速度快
透光孔：200×200mm
可選真空版本
產品應用
掃描顯微
激光合束對準
干涉 / 計量
空間擾動模擬系統
生物技術
掩模與晶片位置調整
