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產地	國產	加工定制	是

P92.X30一維X向快速刀具定位器 30μm廠家快速刀具定位器是為精密車削加工而研發設計的，利用自身所具有的高響應頻率、高剛度、高精度等特性，驅動刀具在運動方向快速微進給運動，能夠實現復雜面形工件或結構的精密加工。

P92.X30一維X向快速刀具定位器 30μm廠家

特性

• 超高精度 • 承載能力大 • 閉環精度高 • 高剛度 • 運動行程30µm

防塵防液滴、高剛度

采用大出力壓電陶瓷

閉環分辨率高

快速刀具定位器可進行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環境。。

快速刀具定位臺采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺出力的幾倍。

不同于振動加工，刀具位置可以通過內置傳感進行反饋控制，實現納米級分辨率。

應用

• 金剛石鉆頭進給 • 精密金屬加工 • 高速工具控制 • FTS快刀伺服車削系統 • 工件定位 • 精密加工與研磨 • 大負載工件精密定位

定制微結構加工快刀定位臺	頻率負載曲線

型號	尾綴S-閉環	P92.X30S	P92.X30K	單位
	尾綴K-開環
運動自由度		X	X
運動和定位
標稱行程范圍（0~120V）		24	24	µm±20%
行程范圍（0~150V）		30	30	µm±20%
傳感器類型		SGS	-
分辨率		2	0.7	nm，typ.
閉環線性度		0.1	-	%F.S.
閉環重復定位精度		0.05	-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<10	<10	µrad
機械性能
運動方向推/拉力		300/100	300/100	N
運動方向剛度		10	10	N/µm±20%
空載諧振頻率		1.8	1.8	kHz±20%
空載階躍時間		5	3	ms±20%
空載工作頻率*	10%行程	1000	>1000	Hz±20%
	行程	40	>40
承載能力		0.3	0.3	Kg
驅動性能
靜電容量		7.2	7.2	μF±20%
其他
工作溫度范圍**		-20~80	-20~80	°C
材質		鋼、鋁	鋼、鋁
外形尺寸（長×寬×高）		90×75×31	90×75×31	mm
重量		1450	1450	g±5%
出線長		1.5	1.5	m±10mm
傳感/電壓連接器***		LEMO	LEMO

*若此工作頻率已接近或超過諧振頻率，建議在小于諧振頻率以下使用，若在此頻率下工作，輸入電壓要足夠小，請從小信號逐漸調試。開環使用時可達到的工作頻率大于此頻率。
** 可定制低溫版本及高真空版本。
***連接器可定制。
注：以上所提參數與測試環境、測試設備有關。運動臺面平行度約20μm，粗糙度約1.6至3.2，特殊要求請在購買前與銷售工程師確認。