XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨 率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

特性 XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格

• 位移60μm                   • 亞毫秒響應時間                   • 承載5kg                   • 1~3維自由組合                   • 重復定位精度可達0.05%F.S.

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1~3維平移臺	產品外觀	直驅機構式驅動示意圖
XP-63X系列壓電納米定位臺可通過轉接板連接， 組成XY，XZ，XYZ多種運動結構。 多種規格型號可選。 柔性鉸鏈采用精密線切割技術。

小體積、高精度、響應速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
XP-63X系列壓電納米定位臺結構設計，具有大機械剛度、大承載、高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有高的使用頻率，響應時間可 以實現亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時間僅為5ms。 XP-63X系列產品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。 閉環版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號 并反饋給閉環控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現納米級的精密定位。

應用

• 半導體技術     • 納米壓印     • 納米計量     •微操控       • 納米光刻     •干涉法/ 掃描顯微/納米定位     •生物技術     •質量保證測試     •微加工/精密控制