P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡體積小巧、結構緊湊，可實現大6mrad偏轉，Z軸40μm的直線運動。提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動，直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度，響應時間可達毫秒量級。

工作原理

P32偏轉鏡是基于3個壓電陶瓷機構設計而成的，由三支壓 電陶瓷驅動，以120°角平分放置，采用坐標變換，運動可以分不 同機構之間控制。這種結構設計除了可實現平臺的傾斜，也可實 現平臺Z向的直線移動，可以用于校正光學路徑長度。其中， A、B、C表示測量的3點處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡便計 算公式分別如下，

典型應用

• 圖像處理與穩定 • 光學捕獲

• 激光掃描與光束偏轉 • 激光調諧

• 光過濾/光開關 • 光學/光束穩定

負載頻率曲線 推薦控制器

高分辨率、高穩定性及動態性

P32壓電偏轉鏡體積緊湊，內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電 促動器，集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電 促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統的壓電促動器提供更好的性 能及可靠性。

P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動學的壓電陶瓷直驅式三腳架 結構，數十億次的運動周期操作而*或性能下降，非常適合 工業應用。

三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優化的角度穩定 性。這種設計具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動態性能、 更快的響應速度及更好的線性度等優勢，也防止了偏振旋轉。

特性：

•  θx, θy偏轉，Z軸升降 • 大偏轉范圍6mrad • 毫秒級響應時間

• 閉環定位精度高

• 溫度穩定性高

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡技術參數

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。