新品推薦！芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

時間：2023-2-9 閱讀：888

此次為大家帶來一款閉環式、三維運動、壓電螺釘驅動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解，一般情況下，這種運動平臺都是開環的，沒有閉環伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求，芯明天專門設計、研發了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進行精確控制，且精度可達1.5μm。

芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺

特點

XYZ三維運動

配有閉環增量式編碼器

行程±12.5mm/軸

納米級分辨率

精度達1.5μm

運動原理

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動，壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動，驅動螺紋桿旋轉，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。

技術參數

產品設計的參數如下表所示。

型號	XYZ65N81E26
運動自由度	X
集成傳感器類型	增量式編碼器
標稱行程范圍	±12.5mm
速度	50μm/s
閉/開環分辨率	80nm
線性度	1.5μm
重復度	1.5μm
承載能力	1.5kg
工作溫度	0~50℃
質量（包含電纜）	2.61kg
材質	鋁、鋼
電纜長度	1.5m
推薦控制器	E53.D1E

產品實測數據

下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。

運動軸	X	Y	Z
線性度	1.253μm	1.327μm	1.157μm
重復度	1.439μm	0.275μm	1.134μm
分辨率	80nm	80nm	80nm
運行速度	55.30μm/s	64.62μm/s	54.50μm/s

從測試結果中可看出，X、Y、Z三個方向的定位精度均可達到1.5μm以內。運動效果如下視頻所示。

注：視頻60倍率播放。

可定制參數、可定制真空版本

芯明天可根據用戶的參數要求定制壓電螺釘運動平臺，自由選擇一至三維運動版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達10^-6mbar以上。

應用

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本，因其大行程及高精度的特點，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業精密定位等領域。

配套控制器

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機進行連接通信，通過上位機軟件，對壓電螺釘運動平臺進行運動的控制，可設置運動速度等參數。

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哈爾濱芯明天科技有限公司

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