快速、準(zhǔn)確的讀取計算機硬盤磁道的寬度對于提高硬盤存儲信號密度和讀取時間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤磁道定位提供了解決方案。

XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有剛度大、分辨率高、響應(yīng)速度快等特點，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

特點

• 行程范圍60μm

• 承載能力5kg

• 重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應(yīng)時間

剛度大 閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺有*的結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時間可以實現(xiàn)亞毫秒級。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID 算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

頻率負(fù)載曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：XP-633

運動自由度：X

行程范圍（0~120V）：48μm

行程范圍（0~150V）：60μm

閉環(huán)傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：2/0.3nm

閉環(huán)線性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<30μrad

推/拉力：480/80N

運動方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：1.5kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間：5/3.2ms

承載能力：5kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋁

重量：450g