P84系列壓電千分尺是宏動手動調節(jié)千分尺與電動調節(jié)壓電驅動機構相結合的運動平臺。它的宏動手調范圍為13mm，壓電驅動調節(jié)范圍為100μm。精調精度可達4nm。

特點

• X向運動，1~3維運動可選

• 手調千分尺行程 13mm，分辨率達 10µm

• 壓電精調行程 100µm，分辨率達4nm

• 壓電調節(jié)可選配傳感器

技術參數

型號：P84.X100S
運動自由度：X      

行程范圍（粗調+精調）：13mm+100μm

殼體材料：鋼、鋁

粗調行程范圍：13mm

粗調分辨率：10μm

粗調驅動方式：螺紋副（分厘卡）    

粗調靈敏度：<2μm

粗調讀數：10微米/格

螺距：0.5mm/rev.

精調行程范圍@120V：80μm

精調行程范圍@150V：100μm

精調傳感器類型：SGS

精調步進（分辨率）：7 nm, typ.

精調閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

精調重復定位精度：0.05%F.S.

精調運動方向推力：16N

精調運動方向的剛度：1N/μm

承載能力（Z向）：500g

工作溫度范圍：-20~80°C

靜電容量：1.8μF

出線長：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO

應用舉例-擠壓/厚度檢測

對于厚度檢測應用，壓電千分尺的粗調已逐漸不能滿足測量的要求，特別是對于待測厚度非常薄，達微米甚至納米時，千分尺的步進調節(jié)就達不到精度要求。因此，在千分尺上集成壓電驅動機構，可顯著提高步進調節(jié)精度，可達納米甚至亞納米級。

可選配移動臺面

對于負載需要額外平臺來帶載的應用，可選配移動臺面，標準尺寸為65×65mm，臺面具有M4及M6螺紋孔，可供固定負載使用。