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哈爾濱芯明天科技有限公司

通過壓電納米定位臺進行力的閉環控制

時間:2019-1-28 閱讀:1349
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*,由壓電陶瓷驅動的壓電納米定位臺,可完成納米量級的步進,并且,壓電納米定位臺的步進是通過電壓信號控制,產生的總位移與電壓信號成線性關系。

此外,壓電納米定位臺也可產生出力,且出力也與電壓信號成線性關系。

通過芯明天壓電納米定位臺配合探針系統、力傳感器等搭建一套力閉環系統,從而可進行較特殊、高精度的材料表面微加工。

力閉環控制的基本結構如下圖所示。

 

1. 芯明天P84壓電測微頭,進行位置的粗精調節;

2. 芯明天XP-63X系列壓電納米定位臺,帶動探針做微米級運動,并控制探針與工件的接觸、接觸深度與分離;

3. 芯明天Z向宏動臺,進行位置的粗略調整;

4. 遮罩;

5. 彈性探針系統;

6. 表面光滑的待加工件;

7. 力傳感器,用于標定。

 

首先,通過芯明天壓電控制器驅動控制壓電納米定位臺,使其位移從0逐漸升至大位移處,同時通過力傳感器將隨之變化的出力值進行采集、記錄,對彈性探針系統及壓電納米定位臺產生的位移與出力間進行標定。

 

標定好后,即可使用該系統進行材料表面的微加工。

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