上海德竹芯源科技有限公司
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針對具備高度結構化晶圓形貌、深度 MEMS 結構或不平整表面特征的基板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應用于研究與開發實驗室，尤其是 MEMS 加工的試產和小量產場合。 經過工藝優化的噴嘴能夠結合低粘度的、特別適用于噴涂作業的光刻膠生成精細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經由“弓"字型行進路徑進......
產品功能
● 可編程，最多 50 個程序
● 最多可同時噴涂 4 個晶基板
● 適用于重復工藝的快速啟動功能
● 觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置
● 工藝參數：噴嘴行進路徑，噴灑臂速度，噴灑時間，錐形束形狀電氣驅動的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選
● 可調整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能
● 用于計量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件
● 手動裝卸基板
性能參數
● 噴灑臂的速度和定位精度： 0.4 m/s，±0.1 mm
● 每個分段的噴灑時間：最長為 9999 秒，調節步幅為 0.1 秒
● 噴灑循環的數目：最多 20 個曲回循環
● 環境溫度：+4 至 +60°C
● 圓形或方形基板
● 適用 300 mm 的晶圓或 12×12 英寸的基板
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