上海德竹芯源科技有限公司
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SM-200/HP-200 組合式系統 SAWATEC 的 SM-200/HP-200 是由 SM-200 勻膠和 HP-200 熱板組成的一個緊湊的柜式機，這種組合式系統非常適用于研究開發和試產項目。
產品功能
● 閉合工藝室由 PETP 材質做成（碗和防濺環）
● RCCT 系統（旋轉閉合腔體技術 Round-Closed-Chamber-Technology）
● 高動態、直接驅動交流伺服電機
● 旋轉速度 6000 rpm +/-1 rpm（可選 10000）
● 可編程電驅動分配手臂，可靜態或動態滴膠
● 襯底通過真空固定和安全互鎖保護
● 一個滴膠臂，可放置 4 路液體管路
● 液體由玻璃瓶和精密計量泵來供應，包括低液體傳感報警
● PP材質的廢液桶，帶有高液位傳感器
產品功能
● 數字溫度控制及實時溫度顯示
● 重復工藝的快速啟動
● 自動溫度限幅開關，避免過熱
● 加熱工藝可編程多段式，每個工藝可設置 20 段
● 電動升降式載片頂針
● 配備安全玻璃，也方便清潔
● 熱板極速調平，避免光刻膠流動
● 用戶操作的工藝參數配置界面及觸摸屏
● 基片通過真空吸附固定
● 手動上下片
性能參數
● 均勻加熱區域：200mm × 200mm
● 溫度范圍：室溫到 250℃
● 溫度均勻性：100℃ 時溫差范圍 +/-0.6℃
● 電動驅動頂針的升降
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