● 高度集成全自動(dòng)化解決方案，覆蓋非常復(fù)雜的測(cè)試
● 支持測(cè)試溫度范圍 25-95 度
● 測(cè)量完成 DUT 可自動(dòng)分類
激光二極管芯片測(cè)試參數(shù)
LIV測(cè)量參數(shù)
● Ith閾值電流 < 1%
● SE斜效率 < 2%
● Iop工作電流
● Vop工作電壓
● Pop工作功率
● Pbop背向工作功率
● Vf正向工作電壓
● Pf前向功率
● Pb背向功率
● Rs等效電阻
● PfKink功率Kink
● PfIkink電流Kink
● PfLineary前向功率線性度
● PbKink前向功率Kink
● PbIkink背向功率Kink
● PbLineary背向功率線性度
● Iroll滾降電流點(diǎn)
光譜測(cè)量參數(shù)
● ?c中心波長(zhǎng) <20pm@可調(diào)激光器/<0.1nm@其它激光器
● ?p峰值波長(zhǎng) <20pm@可調(diào)激光器/<0.1nm@其它激光器
● SMSR邊模抑制比 <3dB
● SMSR邊摸抑制比 <2dB
● P?p峰值功率
● ?2pL左邊第二峰值波長(zhǎng)
● P?2pL左邊第二峰值功率
● ?2pR右邊第二峰值波長(zhǎng)
● PΛ2pR右邊第二峰值功率
● DeltaPLR左右峰值功率差值
● FWHM3dB 帶寬
● 20dB Bandwidth20dB 帶寬
EA測(cè)量
● IdarkEA暗電流
● EREA 直流小光比 <+/-0.2dB
● LVI Curve功率& EA電流曲線 vs EA偏置電壓
近場(chǎng)遠(yuǎn)場(chǎng)
● Near Field Beam waist近場(chǎng)束腰
● Near field angle @ X axisX 軸近場(chǎng)發(fā)散角
● Near field angle @ Y axisY 軸近場(chǎng)發(fā)散角
● Near M^2M 平方因子
● Far field angle @ Y axisX 軸遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角
● Far field angle @ X axisY 軸遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角
激光二極管芯片測(cè)試系統(tǒng)指標(biāo)
系統(tǒng)特性
● DUT 類型：Die or CoC/CoS
● 芯片ID識(shí)別成功率：99%
● 分類功能：支持 4-6 晶圓盤(pán)，軟件配置分類計(jì)劃
● 光測(cè)試能力：同時(shí)支持前向/背向光測(cè)試
● 溫區(qū)數(shù)量：2溫區(qū)測(cè)試座
● NG DUT 容器：支持
● ESD保護(hù)：所有和 DUT 相關(guān)的材料都是 ESD 防護(hù)的，良好接地
● 周期時(shí)間：<8s 完成所有流程測(cè)試，包括：上料/運(yùn)輸/下料/分類/LIV測(cè)試/光譜測(cè)試
溫度控制
● 溫度控制方法：TEC 和加熱板
● 溫度控制范圍：0°C 到 100°C
● 溫度控制分辨率：± 0.1°C
● 溫度控制精度：± 1°C
● 溫度控制穩(wěn)定度：± 0.5°C
● 溫度防護(hù)能力：硬件防護(hù)@ >150°C
激光器控制
● 激光器驅(qū)動(dòng)類型：每個(gè)芯片獨(dú)立驅(qū)動(dòng)
● 驅(qū)動(dòng)電流極性：雙極性
● 驅(qū)動(dòng)電流范圍：3A CW 和脈沖 10A
● 脈沖工作模式：支持 50us 脈沖到 CW，占空比 0-99%
● 驅(qū)動(dòng)電流回讀：包含
● 驅(qū)動(dòng)電流分辨率：0.05% @滿量程
● 驅(qū)動(dòng)電流精度：± 0.05% @滿量程
● 驅(qū)動(dòng)電流穩(wěn)定度：± 0.03% @滿量程
● 驅(qū)動(dòng)一致性電壓：0-+/-60V 可配置
● 電壓測(cè)量范圍：+/-60V
● 電壓測(cè)量精度：± 10mV
● 電壓測(cè)量分辨率：0.03%
● 驅(qū)動(dòng)電壓范圍：<0%
● 驅(qū)動(dòng)電壓精度：<0%
● 驅(qū)動(dòng)電壓分辨率：<0%
● 標(biāo)稱工作電過(guò)沖：<0%
● 異常工作電過(guò)沖：±3.3V
● 標(biāo)稱工作電下沖：±5V
● 異常工作電下沖：±50mV
● 時(shí)間探測(cè)：功率丟失、網(wǎng)絡(luò)丟失、短路、開(kāi)路和過(guò)溫
光學(xué)測(cè)量
● 光功率測(cè)量能力：同時(shí)支持前向/背向測(cè)試
● 光功率測(cè)量范圍：0-30 mW
● 光功率波長(zhǎng)范圍：900-1700 nm
● 光譜范圍：700-1650 nm
● 光波長(zhǎng)精度：50 pm
● 光波長(zhǎng)分辨率：50 pm
機(jī)構(gòu)參數(shù)
● DUT上料能力：6 英寸晶圓盤(pán)；X/Y/角度可調(diào)；XY 移動(dòng)距離 80 mm
● DUT 位置精度：XY 位置精度 ≤10μm；重復(fù)性 ≤±1μm；旋轉(zhuǎn)位置精度 ≤0.1° 旋轉(zhuǎn)重復(fù)性 ≤0.1°
● DUT 撿起精度：移動(dòng)范圍 4 mm；重復(fù)性 ≤2μm
● DUT 探針精度：移動(dòng)范圍 3 mm；重復(fù)性 ≤2μm
● DUT 傳輸機(jī)構(gòu)：均采用高精度步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)，同步帶傳動(dòng)，高精度滑軌導(dǎo)向?qū)崿F(xiàn)
通用參數(shù)
● 尺寸：1250×1000×1800 mm（L×W×H）
● 輸入氣體壓力：0.4-0.6 Mpa
● 輸入交流電源：200-240 V, 50-60 Hz
● 計(jì)算機(jī)型號(hào)：Advantech
● 操作系統(tǒng)：Microsoft Windows 7
● 軟件平臺(tái)：Microsoft .Net
● 軟件語(yǔ)言：C#
● 數(shù)據(jù)庫(kù)：SQL
● 器件連接測(cè)試工具：集成
● 測(cè)試計(jì)劃配置工具：集成
● 測(cè)試數(shù)據(jù)查詢工具：集成
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