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浦怡電子科技(上海)有限公司

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分子泵機組MAG 1500C/CT

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號MAG 1500C/CT

品牌

廠商性質生產商

所在地上海市

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更新時間:2023-10-04 11:29:52瀏覽次數:112次

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分子泵機組MAG 1500C/CT

陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規格,抽速自50至1100升/秒,極限真空度為<10-10mbar。
    其主要特點為:
    - 陶瓷軸承為脂潤滑,無維護運行時間長。
    - 允許任意角度安裝。
    - 有水冷和風冷兩種選擇。
    - 對H2的壓縮比大。
    - 無油真空泵,可用來產生潔凈的超高真空。

 


 TW系列復合分子泵
抽速: 70 ~ 1600 升 / 秒
極限真空度: 10 - 9 mbar
zui大允許前級壓強: 6 ~ 14mbar
主要特點有:
- 轉子葉片為一次成型,消除了葉片應力,使得前級耐壓高達 14mbar ,并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風冷系統,使其在絕大多數工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設計,避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。
- 結構緊湊,可方便地安裝到復雜的系統中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。
- 軸承為油脂潤滑,無維護運行時間長。
- 無油真空泵,可用來產生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護時提前預警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦, PC 或 PLC 聯絡,以讀取分子泵工作狀態的參數,以及儲存單元的運行記錄;并可根據需要對某些參數進行修改,如頻率等。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求,使得系統總體造價降低。

新一代數字化控制,五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT
抽速: 1500l/s ~ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統,自平衡性能好全無油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
•  轉子采用高強度鋁合金,一次高速銑削成形,應力小,強度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉子葉片不易卷曲、打碎;轉子*運行溫度可高達 120 ℃ 。
•  轉子及定片均采用萊寶技術的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體;
•  降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量,降低轉子運行溫度,有利于延長轉子壽命;
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
•  保護軸承為陶瓷軸承,壽命長( >600 次),無需更換保護軸承。
•  高真空端連接采用 ISO-F ,連接螺栓強度高,充分保障安全。
•  智能化電源,無需 UPS 。
•  帶拖動級,前級耐壓在 2mbar 以上。
•  分子泵運行溫度可調節,使其充分適應不同工藝制程。
•  的數字控制技術
•  運行速度、溫度可設置;
•  運行數據記錄存儲,提供多達 180 條運行信息;
•  磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控制,信號處理速度快,系統反應時間短
•  轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時,磁場補償反應時間短;
•  在氣流長時間( 2 分鐘以上)過大,而使泵負載過高,發熱量過大時,泵速會快速自動調節,使泵溫下降到正常水平。
•  控制器與泵無識別性,可互換。
•  免維護。
典型應用:
適用于
•  所有半導體主要制程:刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入
•  科研領域
•  鍍膜
另外,萊寶公司磁懸浮分子泵系統中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。

 

德國萊寶真空泵d16c

*德國萊寶真空泵d16c

德國萊寶真空泵SV1200

德國萊寶真空泵SV1200/萊寶真空泵SV1200真空泵SV1200

德國萊寶真空泵SV750

德國萊寶真空泵SV750/萊寶真空泵SV750/真空泵SV750

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