蘇州慧聞納米科技有限公司
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IDM-HP01微熱板芯片點擊瀏覽pdf文件產品簡介IDM-HP01微熱板芯片是基于MEMS加工工藝制造出來的微加熱器件，用于MEMS氣體傳感器
產品簡介
IDM-HP01 微熱板芯片是基于MEMS加工工藝制造出來的微加熱器件，用于MEMS氣體傳感器。采用*的懸梁微結構，其特點是小體積、功耗低，可靠性高。此款微加熱器集成微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化。
微加熱器優點
小體積、低功耗、可靠性高。
產品參數
| 產品型號 | IDM-HP01 |
| 產品類型 | MEMS微加熱器 |
| 常溫電阻 | 300±30Ω |
| 加熱材料 | Poly Si |
| 測試電極材料 | Pt |
| 加熱電壓 | ≤3.3V |
溫度曲線
1. 請勿觸碰MEMS芯片表面中心區域，會造成不可逆轉的損壞；
2. 工作電壓建議小于等于3.3V；
3. 芯片貼裝時，注意靜電防護；
4. 溫度與電壓關系圖中的溫度是由紅外熱像儀測量的，數值僅供參考。
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