冠乾科技(上海)有限公司
圓柱形磁控陰極:圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業得到廣泛的的信任,提供了優秀均勻性的同時實現靶材利用率
圓柱形磁控陰極:
圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業得到廣泛的的信任,提供了優秀均勻性的同時實現靶材利用率。現在,結構緊湊,重量輕,經濟的圓柱形磁控陰極在平板顯示器、太陽能電池、和Web涂層應用中實現。
定制設計
提供完整的組件,直徑從3英寸到6英寸。
經濟和兼容的投資
采用了通用的和具有性價比的設計以適應任何類型的靶材。而且它被設計成使用現成的組件,以實現廉價的、長期的投資和可靠性。
技術
磁體技術創建一個源和工件之間的接近正常的沉積分布。改進的沉積分布使得腔體上的碎片沉積減少。
此外,磁鐵陣列能提供更高的磁場強度,它允許以較低的功耗來達到常規的沉積速率。
節省材料,節約能耗
通常圓柱磁控陰極可以在相同面積上容納平面磁控陰極三倍的靶材。可進一步提升85%的靶材利用率。另外,因為工作在較低的功率下,可以降低20%的功耗。
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致力于幫助我們的客戶開發生產力的和具有成本效益的薄膜應用,提供*的磁控陰極,高品質的沉積材料,全面的技術支持。我們隨時準備著以確保您的滿意度。
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