激光氣體分析儀是使用單線分子吸收光譜的氣體分析儀。激光二極管發射近紅外激光束，該激光束穿過工藝氣體并被接收器單元檢測到。二極管發射的激光波長被調制成特定氣體的吸收線。激光以非常高的光譜分辨率連續掃描這條單吸收線。結果是一條獨立的單線分子譜線，然后分析其吸收強度和線型。由于相似的單色激光在掃描光譜范圍內只被一條特定的分子線選擇性吸收，因此在測量過程中不存在交叉干擾。概述通過光纖連接到測量點。激光通過單模光纖從單元被引導至場傳感器的發射單元。傳感器包括接收器和發射器，它們之間的距離定義了測量光路。在接收器盒中，激光聚焦在合適的檢測器上，然后檢測器信號被轉換成光信號并通過第二光纖傳輸到單元。在單元中，氣體成分的濃度由檢測到的吸收信號確定。通常只測量一種單一的氣體成分。在某些特定情況下，這兩種成分也可以同時測量。如果它們的吸收線彼此非常接近，它們可以在一次激光掃描中被檢測到(例如，H2O和NH3)。此外，在一些應用中，可以將氣體的溫度確定為測量值。在這種情況下，對于在相同體積中同時測量的相同分子，它們的兩條特征譜線的比率給出了工藝氣體中氣體的實際溫度。可以測量的一些典型氣體是:氧氣/O2氟化氫/HF/HCl氨/NH3水蒸汽/H2O一氧化碳/CO二氧化碳/CO2。通常，充滿待測氣體的內部參比室被用作參比通道，以便總是可以檢查光譜儀的穩定性。通過這樣做，可以確保儀器的連續校準，而無需使用瓶裝測試氣體或參考試管來執行外部重新校準。
