我國集成電路裝備制造業已現主流產業雛形

　　相對于集成電路制造業，我國的集成電路裝備制造業無論從生產規模、研發水平、投資強度以及人才聚集等方面都還存在著很大的差距，尚未形成可以支撐自身可持續發展的產業規模。這一狀況導致我國目前所有已建、在建和籌建的8英寸集成電路制造廠的生產裝備*依賴進口。面對強勁的市場和產業發展需求，建立健康的集成電路裝備制造業，開發關鍵制造裝備和具有自主知識產權的*工藝，形成具有自主發展能力和核心競爭力的產業鏈，實現可持續健康發展，已成為我國集成電路制造業亟待解決的一項具有全局性和戰略性意義的核心問題。

　　中低檔市場擁有一定用戶群

　　當前我國涉足集成電路裝備研究和生產單位約40個，其中主要單位20家左右，主要提供4英寸、5英寸、6英寸集成電路裝備，在中低檔市場上擁有一定的用戶群，但在8英寸以上主流裝備市場上尚無一席之地。大部分單位從事前工序裝備研制，如半導體前道工序用擴散爐、快速熱處理裝備、清洗機、勻膠顯影裝備等;后道工序裝備、材料制備裝備、凈化裝備、檢測裝備和試驗裝備也各有一些單位在研究和生產。后道工序中的劃片機、塑封機、部分模具等;材料制備裝備中的單晶爐、研磨機、拋光機。部分凈化裝備和試驗裝備中，國產裝備已經日漸成熟。部分材料制備裝備、后道工序裝備以及6英寸前道工序中的擴散裝備、快速熱處理裝備、清洗裝備等已逐步進入集成電路生產領域。

　　相對集成電路裝備產業鏈的優勢，我國集成電路裝備產業鏈還很薄弱，雖然經過“十五”集成電路制造裝備重大專項的實施，已經初建起零部件的供應體系，但與國外的配套環境相比，我們還存在上游基