| 技術參數 |
| 爐體結構（點擊圖片查看詳細資料） | ● 兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果 ● 連續工作溫度:1100℃ ● 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序 |
| 等離子體射頻電源 | ● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005% ● 射頻功率: 500W ● 匹配: 自動匹配 ● 噪音: <50 dB. ● 冷卻: 空氣冷卻 ● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz |
| 真空系統 | ● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr ● KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連 ● 管內真空可達10E-2 Torr |
| 質量流量計混氣系統 | ● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) ：數字顯示，自動控制 ● MFC1范圍: 0~100 sccm ● MFC2和3: 0~200 sccm ● MFC4范圍: 0~500 sccm ● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口 ● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體 ● 進氣口: 4個1/4NPS ● 出氣口: 4個 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制 ● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統
|
| 爐管&密封法蘭 | ● 高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L ● 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計 |
| 防腐型真空計 | ● 輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉換器） ● 測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr. ● 數據顯示 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr ● 接頭 KF16 接頭 ● 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
| 循環手套箱 | ● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H) ● 帶有除水系統：保持水含量< 2 ppm ● 一真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管相連接 |
| 質保期 | 一年質保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質量認證 | ● CE 認證
● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證
|
