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深圳市天鉉真空技術有限公司
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UFC-8165 流量計flowmeter TC004KF16 FIL-TECH熱偶規(guī)Thermoc

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HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液質流量計  真空計TCGAUGE-VCR規(guī)格型號:NO.8112105

深圳市天鉉真空技術有限公司HORIBA STEC流量計LF-410A-EVD TEOS 4g/min液質壓力計

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Debbbbbbion注入機 FILAMENT P.S電源MKS薄膜真空壓力計750C11MGA4GF


Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply


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ETCH主要產品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新

延長了使用壽命




加熱元件的發(fā)熱越有效,需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。



鎢基層具有高孔隙率的

  • 鉬(熔點:2620°C)和鎢(熔點:3420°C)均是難熔金屬,高熔點使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
  • 耐腐蝕:
    鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性,甚至在溫度下也是如此:
氨氣
  • 在操作過程中,反應室部件中的雜質也可能污染半導體。要保證半導體的質量和 LED 或晶體管的效率,我們的材料必須無雜質。我們保證材料純度高于 99.97%。

  • 蒸氣壓低:


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