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上海樸維自控科技有限公司


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蝕刻自動加藥分析裝置

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更新時間:2022-02-15 14:19:17瀏覽次數:72次

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產品簡介

蝕刻自動加藥分析裝置

詳細介紹

產品編號:
CAS NO.:
產品名稱: 蝕刻自動加藥分析裝置
產品類別: 酸性蝕刻自動加藥裝置
產品品牌: TOPWAY
產品型號: ACE-800
規格/包裝:
產品價格: 詢價
產品簡述:
蝕刻過程中,隨著反應的進行, CU+越來越多,蝕銅能力下降,需對蝕刻液再生,使CU+變成CU2+ 。生產過程中自動控制通過ORP控制氧化劑添加,電導率控制鹽酸添加,比重控制純水添加。
產品詳情:

 

感應器的測定原理

一、比重計感測器(S.G  SENSOR): 浮波式(位能→電能)

根據藥液比重增大浮力增大, 比重減小浮力減小的原理當藥液中銅離子含量增加或減小時, 藥液的浮力也會變大或減小, 浮力的變化使重量一定的浮球上升或下降, 浮球的升降會發生位置變化,感應器將其位能變化量轉換為電訊號傳遞給控制器, 控制器根椐電訊號判斷藥液比重的大小, 進行自來水添加來控制比重

二、鹽酸感測器(HCL  SENSOR): 電磁式(電能+動能→電能)

根據電磁感應原理: 當電流通過感測器線圈時, 會產生磁束(磁力線).該磁束會依藥液中鹽酸的離子濃度而產生一定比例電流, 再將此電流變化量加以數字化, 并轉換為電訊號傳給控制器, 控制器根據電信號判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進行控制鹽酸添加

 

三、氧化劑感測器(NaCLO3  SENSOR): 電解式(電能→電能)

H2O2(雙氧水)或氯酸鈉之概念及測定原理

雙氧水的氧化性很強,在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中,能增加蝕刻的速度,就再生劑而言,其扮演著很重要的角色。雖然,空氣中的氧也會產生再生反應,但是,一旦生產量增加時,氧的再生速度就來不及,所以為了促進蝕刻速度,作為氧化劑的雙氧水或氯酸鈉是*的。氧化劑傳感器,是將氧化劑做為蝕刻液再生反應的促進劑。在最小需要量下,控制的蝕刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少,可大幅提高品質、降低成本。

    

目的:即是以「如何使用最小需要量的雙氧水來管理藥液品質」作為參考量。

基于這樣的參考量,本再生控制器并不是管理氧化劑,而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力;一方面用最少的氧化劑來補足蝕刻液中,由氧氣(O2)再生的不足部份,一方面維持蝕刻生產的穩定性。

 

根據鹽酸的再生方式

 

 




根據氧化劑的再生方式

 









雙氧水傳感器的測定原理

銅棒點在蝕刻液中反應時,依據藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會產生電荷量的變化。氧化劑傳感器會檢測出所發生的電荷量(出力),并傳送到控制主機。控制主機再將氧化劑濃度和蝕刻速度等的相關資料入力;氧化劑傳感器所得到的出力在控制器上計算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。

 

一價銅離子和二價銅離子的含量對于測定值而言會有何變化?

當基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中,二價銅會轉變為一價銅。(隨著銅的溶解,電位值既會下降)。一價銅和HCl會因空氣中的O2而產生再生反應。但是,生產量大時,空氣的O2來不及再生的部份,便需要H2O2或氯酸鈉做氧化劑。

當一價銅一增加,電位值就會下降,而蝕刻液中的一價銅再生為二價銅時,電位值就會上升.

ACE-800特點

 所有感應器拆卸簡單、容易清洗

 防虹吸、防空轉的添加計量系統                                                     

 設計合理的控制模式

 詳細的故障報警信息反饋系統

 氧化劑、鹽酸透明視窗及醒目的液位標識

 運行中可根據實際情況隨時作更改蝕刻速度:0~8M/Min

 防氣體揮發的人工加料口

 感應靈敏液位感應報警系統

 智能主機有通信功能、數據存儲功能、自動溫度補償功能、報表統計功能

 可適應多種氧化劑的控制與精細線路板的制造,堪比國內外類此產品媲美

 參數設定簡單易操作,運行中可根據實際情況隨時作出更改

 采用銅棒電極,使用成本低,無需校正,更換時有報警信號提示

 

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