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行業(yè)產(chǎn)品

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唐山任氏巨源微波儀器有限公司


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任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)

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參   考   價: 260000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌任氏巨源

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地唐山市

聯(lián)系方式:董強(qiáng)查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-01-19 09:19:56瀏覽次數(shù):321次

聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:60條

所在地區(qū):河北唐山市

聯(lián)系人:董強(qiáng) (總監(jiān))

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制

一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)特點(diǎn):1.采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料,2.升溫速率快,智能控溫,可分段設(shè)置,控溫精度高,熱慣性小

詳細(xì)介紹

一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)特點(diǎn):
1. 采用純微波加熱~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料,
2. 升溫速率快,智能控溫,可分段設(shè)置,控溫精度高,熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區(qū),且加熱區(qū)長度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛,抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵,可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結(jié)構(gòu)),耐高溫、耐腐蝕;
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇,降低溫度;
8、真空系統(tǒng):機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵,真空密度計
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試;

二、
任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)參數(shù):
型號/modelWBMW-QXCJ4
可加熱材料非易燃易爆的任何材料
微波頻率2.45GHZ±50MHz
加熱方式純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/KW4  (功率可調(diào))
溫度測試元件微波場專用傳感器
控溫精度/℃±2
加熱管材質(zhì)石英管高溫合金管剛玉管
加熱溫度/℃1200℃1200℃1600℃
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm∅45/∅35×1200,可選配,外徑∅60mm
加熱速度≤200升溫速率不限≤50
恒溫區(qū)長度標(biāo)配恒溫區(qū)長度100mm,恒溫去長度100mm~1000mm以上可選
溫區(qū)可多溫區(qū)同時加熱
氣路法蘭不銹鋼法蘭
質(zhì)量流量控制美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器
氣柜、氣路及各類閥門,可配套計算機(jī)自動控制系統(tǒng)及軟件
氣路數(shù)量2路或3路(或多路)
流量范圍0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定
精度±0.2%F.S
響應(yīng)時間≤1sec
工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力),流量規(guī)格≤10SLM
系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
規(guī)格高真空
系統(tǒng)真空范圍標(biāo)準(zhǔn)大氣壓~10-3Pa
真空泵簡單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭
10-1Pa真空用高檔機(jī)械泵及真空計
10-2Pa真空用高檔機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計
10-3Pa真空用高檔機(jī)械泵、分子泵及真空計
爐腔尺寸/mm700X350X530
加熱腔(標(biāo)配)0.5-3L 2個根據(jù)管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定
加熱腔大小0.94L,2.12L,3.8L
升溫速率(標(biāo)配)0~1000℃/min可根據(jù)實(shí)際任意設(shè)定,可編程、分段加熱
外型尺寸/mm1500′750′1560
微波泄漏/  mW/㎝≤0.4
提供相關(guān)配件防護(hù)手套×1、中文說明書×1
保質(zhì)期整機(jī)免費(fèi)保修1年



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