1

機身、工作臺

00級天然大理石底座、工作臺和立柱

套

1

2

CCD

美國750TVL高清彩色CCD

個

1

3

鏡頭

POMEAS連續變倍鏡頭

個

1

4

光柵尺

分辨率0.5μm

條

3

5

馬達

松下 400瓦

套

2

6

導軌

上銀H級直線導軌

套

2

7

絲桿

TBI研磨絲桿

組

2

8

軟件（加密鎖）

INS-C

套

1

9

運動控制器

UWC4000P

塊

1

10

探針系統

英國雷尼紹探測系統

套

1

選配

11

激光系統

日本KEYENCE高精度激光

套

1

選配

12

校正塊

定制

塊

1

13

光學玻璃

定制

塊

1

14

電腦

CPU:I3/主板：華碩P8H81/內存4G/硬盤:120G固態/顯示器: 22寸LCD；

套

1

15

軟件說明書

軟件操作使用說明書

本

1

16

合格證

產品合格證

份

1

17

出場質量檢驗表

儀器出廠質量檢驗表

份

1

量測范圍（XYZ）

300X200X200

外觀尺寸

1026X1543X1680

重量

400KG

承重

40KG

導軌

高精度線性滑軌 （中國臺灣上銀導軌）

傳動方式

高精度絲桿傳動（中國臺灣TBI絲桿）

平臺、底座材質

高精度花崗巖00級（山東濟南青）

速度

X軸:300    Y軸:300    Z軸:200

XY 精度

（2.8+L/200）μm

XY 重復精度

2um

光柵尺分辨率

XYZ：0.5μm

運動控制

伺服馬達（松下）

馬達控制方式

搖桿操作控制、鼠標移動控制、軟件模塊移動控制

鏡頭

POMEAS卡位變焦鏡頭

鏡頭倍率

光學放大倍率：0.7X-4.5X

CCD影像

美國 TEO  750TVL

輪廓光

LED白色近平行光

表面光

LED白色四環八相燈,有角度的程控的上燈

放大倍率

影像放大倍率：28X-200X（實物到22寸LED1920X1080像素）

量測軟件

INS-C

保固期

2年

使用環境

溫度20±5oC, 濕度45-75%測量機室所在環境中無影響檢定的震動

電源

110V-220V±10% 50/60Hz