● Z軸通過電動手脈進行精準(zhǔn)控制（對焦精度可達0.0005mm）

● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺

● 高位目鏡觀察

● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)

半導(dǎo)體測量工具顯微鏡2010技術(shù)參數(shù)

3.1主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    300（mm）

◆Y坐標(biāo)行程：   200（mm）

◆Z坐標(biāo)行程:    150（mm）
◆X、Y坐標(biāo)測量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測長度(單位：mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率：0.001mm  
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無極亮度可調(diào)

◆上光源：白色LED環(huán)形可調(diào)光源

3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機端口

◆物鏡：1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡

◆目鏡放大倍數(shù)：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數(shù)：  10X-65X（包括畸變在內(nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差范圍在0.08%以內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機1X鏡筒

◆CCD：千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數(shù)：45X-285X

半導(dǎo)體測量工具顯微鏡2010軟件功能

l 配備專業(yè)視覺影像測量軟件，帶十字線捕捉閃爍功能，可測量二維平面尺寸（角度、直徑、半徑、點到點的距離、點到線的距離、線到線距離、線到圓的距離、圓到圓的距離等等）；

l 圖形自動捕捉：開啟自動捕捉功能后，測量點、線、圓及圓弧，可自動捕捉到最清晰的地方；

l 視覺拍照功能：可通過軟件抓拍實時產(chǎn)品圖片，然后保存到電腦里，并可通過軟件調(diào)出圖片進行查看或處理；

l 標(biāo)注文字：可在實時影像中標(biāo)注文字說明；

l 公英制轉(zhuǎn)換：測量值可在公制和英制之間切換；

l X、Y清零：可用畫面十字線設(shè)置任意點為相對原點，將X、Y坐標(biāo)清零；

l 測量數(shù)據(jù)輸出：可將測量數(shù)據(jù)或圖形導(dǎo)入WORD或EXCEL做報表；

l  “瀏覽"窗口： 可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能；

l 輔助功能：可把在軟件中繪制出的圖形進行移動、旋轉(zhuǎn)、復(fù)制、刪除，并可作任意線段的平行線、垂直線；

l 自動兩點線：在單一畫面下可自動捕捉工件的邊緣，無須以人工取線，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動三點圓：在單一畫面下可自動捕捉工件的圓半徑、直徑，并繪出圖形，無須以人工取圓，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動多點線：自動捕捉工件邊緣，然后根據(jù)工件邊緣擬合出圖形，從而減少兩點取線及人眼的誤差；

l 自動多點圓：自動捕捉工件邊緣，然后擬合出工件的孔徑，并繪出圖形，從而減少三點取圓及人眼的誤差；

l 自動圓：在單一畫面下用鼠標(biāo)框中圖形，可快速自動捕捉出圓.；

l 設(shè)定工件坐標(biāo)：可以根據(jù)客戶本身的需要在影像中的實際工件上自行設(shè)定工件坐標(biāo)，有兩點確定X軸、兩點確定Y軸或三點確定坐標(biāo)系等多種設(shè)定方法；

l 具有坐標(biāo)平移、坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)及坐標(biāo)分中等功能：

l 坐標(biāo)標(biāo)注：可標(biāo)注工件中任意點的坐標(biāo)值；

l Pitch標(biāo)注：可標(biāo)注任意點到一條直線的垂直距離，可標(biāo)注任意兩線的垂直距離