普賽斯功率半導體測試平臺1700V/1000A，集多種測量和分析功能一體，可以精準測量不同封裝類型功率器件（如MOSFET、BJT、IGBT以及SiC、GaN第三代半導體等）的靜態參數，具有高電壓和大電流特性、μΩ級J確測量、納安級電流測量能力等特點。支持高壓模式下測量功率器件結電容，如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。

普賽斯PMST功率器件靜態參數測試系統配置有多種測量單元模塊，模塊化的設計測試方法靈活，方便用戶添加或升級測量模塊，適應測量功率器件不斷變化的需求。

測試系統組成

普賽斯PMST功率器件靜態參數測試系統，主要包括測試主機、測試線、測試夾具、電腦、上位機軟件，以及相關通訊、測試配件等構成。整套系統采用普賽斯自主開發的測試主機，內置多種規格電壓、電流、電容測量單元模塊。結合專用上位機測試軟件，可根據測試項目需要，設置不同的電壓、電流等參數，以滿足不同測試需求。測試數據可保存與導出，并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外，測試主機可與探針臺搭配使用，實現晶圓級芯片測試；也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

測試主機內部采用的電壓、電流測量單元，均采用多量程設計，測試精度為0.1%。其中，柵極-發射極，最大支持30V@10A脈沖電流輸出與測試，可測試低至皮安級漏電流；集電極-發射極，最大支持6000A高速脈沖電流，典型上升時間為15μs，且具備電壓高速同步采樣功能；最高支持3500V電壓輸出，且自帶漏電流測量功能。電容特性測試，包括輸入電容，輸出電容，以及反向傳輸電容測試，頻率最高支持1MHz。

系統特點

高電壓：支持高達3.5KV高電壓測試（Z大擴展至10kV）；

大電流：支持高達6KA大電流測試（多模塊并聯）；

高精度：支持uΩ級導通電阻、納安級漏電流測試；

豐富模板：內置豐富的測試模板，方便用戶快速配置測試參數；

配置導出：支持一鍵導出參數配置及一鍵啟動測試功能；

數據預覽及導出：支持圖形界面以及表格展示測試結果，亦可一鍵導出；

模塊化設計：內部采用模塊化結構設計，可自由配置，方便維護；

可拓展：支持拓展溫控功能，方便監控系統運行溫度；

可定制開發：可根據用戶測試場景定制化開發；

系統參數

測試項目

集電極-發射極電壓Vces，集電極-發射極擊穿電壓V(br)ces、集電極-發射極飽和電壓Vcesat

集電極截止電流Ices、柵極漏電流Iges

柵極-發射極電壓Vges、柵極-發射極閾值電壓Vge(th)

輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容

續流二極管壓降Vf

I-V特性曲線掃描，C-V特性曲線掃描等

測試夾具

針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導體，IGBT、SiC、MOS、GaN等產品，普賽斯提供

整套測試夾具解決方案，可用于T0單管，半橋模組等產品的測試。

普賽斯儀表專業研究和開發半導體材料與器件測試的專業智能裝備，產品覆蓋半導體領域從晶圓到器件生產全產業鏈。推出基于高精度數字源表(SMU）的第三代半導體功率器件靜態參數測試方案，為SiC和GaN器件提供可靠的測試手段，實現功率半導體器件靜態參數的高精度、高效率測量和分析。如果您對普賽斯功率半導體器件靜態參數測試方案和國產化高精度源表感興趣，歡迎隨時聯系我們！