單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理

壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。

當壓力發生變化時，單晶硅產生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

穩定性

數字、智能:6個月，±0.1%URL經濟型絕壓變送器
模擬、線性:6個月，±0.2%URL

折疊環境溫度影響

數字、智能: 零點誤差:±0.1%URL/56℃ 總體誤差:±(0.2%URL+0.18%校驗量程)/56℃
模擬、線性 零點誤差:±0.1%URL/56℃ 總體誤差:±(0.5%URL+0.5%校驗量程)/56℃振動影響 在任意軸向上，200Hz下振動影響為±0.05%URL/g電源影響 小于±0.005%輸出量程/伏特。

折疊負載影響

沒有負載影響，除非電源電壓有變化。電磁干擾/射頻干擾(EMI/RFI影響) 由20至1000MHz，場強達至30V/M時，輸出漂移小于±0.1%量程。

折疊安裝位置影響

零點漂移至多為±0.25kPa。所有的零點漂移 都可修正掉;對量程無影響。