WSZ-A-1.5二級生化地埋式污水處理設備二級生化出水深度處理的方法，依次包括(1)石灰軟化處理;(2)混凝沉淀處理;(3)氧化處理;(4)過濾處理;(5)超濾及反滲透處理等處理單元，具體操作步驟如下：
(1)石灰軟化處理，來自城市污水處理廠的生化出水在管道混合器中與飽和石灰乳充分混合，控制混合液pH值達到9.5～10.5，使水中的HCO3-與OH-發生中和反應形成CO32-，與Ca2+、Mg2+等離子生成碳酸鹽沉淀，在隨后的混凝沉淀過程中得以去除，降低了水的硬度。混合出水進行混凝沉淀處理。

(2)混凝沉淀處理，步驟(1)石灰軟化處理后的混合廢水直接進入混凝沉淀池，在投加的絮凝劑及殘余石灰助凝劑作用下，將水中的沉淀物和懸浮物通過澄清去除，澄清出水進行氧化處理。該單元的pH值一直保持弱堿性，無須調節。廢水在混凝沉淀池的水力停留時間為10～30min。向混凝沉淀池中投加的絮凝劑為常規有機和無機型絮凝劑，其中有機絮凝劑為聚丙烯酰胺，投加量為1～5mg/L;無機絮凝劑可以采用聚合硫酸鐵或三氯化鐵，投加量為10～30mg/L。通過該單元處理，廢水中原有的懸浮物以及步驟(1)所產生的沉淀物可以得到深度脫除，出水懸浮物≤10 mg/L、濁度≤5 NTU，出水硬度≤150 mg/L(以CaCO3計)、堿度≤150 mg/L(以CaCO3計)，同時色度、COD也得到部分去除。
WSZ-A-1.5二級生化地埋式污水處理設備(3)氧化處理，將步驟(2)混凝沉淀處理后的廢水送入氧化反應器，氧化劑為臭氧。氧化反應器內設置吸附劑床層，吸附劑為陶粒、活性炭或無煙煤，粒徑為5~10 mm，填充比為反應器體積的50%~75%。通過向氧化反應中加入吸附性物質，可快速吸收廢水中的難生物降解的有機物，使其停留在反應器中，在堿性條件下充分進行氧化反應直至*礦化，極大的提高了COD的去除效率，并減少了廢水的水力停留時間和臭氧的投加量。吸附劑上的有機物經臭氧氧化后生成CO2和H2O，達到了改善水質和脫色目的;吸附劑經臭氧氧化再生后又可以恢復吸附特性，且處理后出水COD較低無需繼續進行生化處理。具體過程為：經混凝沉淀處理后出水在管道混合器中與臭氧氧化劑充分混合后由下部進入氧化反應器，廢水中的色度等難生物降解的有機物被截留在吸附層中，堿性條件下臭氧形成.OH可將有機物*氧化至CO2和H2O，達到脫除廢水的色度和提高COD去除率的目的。該單元的臭氧由處理裝置外的臭氧發生器提供，臭氧的投加量為5～20 mg/L廢水，最好為6～12 mg/L廢水，廢水在氧化反應器中的水力停留時間為10~20min。通過該單元處理，廢水中的色度可脫除90%以上，出水色度≤10 度;出水COD ≤50 mg/L。
(4)過濾處理，將步驟(3)吸附臭氧處理后的出水進行過濾處理，處理后出水進行超濾處理。粗過濾單元可選用常規的過濾設備，如多介質過濾器、砂濾、流沙過濾器或微孔過濾器等。通過對廢水進行過濾處理，使出水SS ≤20 mg/L、濁度≤5 NTU，滿足進超濾及反滲透處理要求。
(5)超濾及反滲透處理，將步驟(4)過濾處理后的出水進行超濾及反滲透脫鹽處理，處理后的出水回用做工業鍋爐給水。超濾及反滲透單元可選用常規的超濾及反滲透設備。經步驟(1)～(4)處理后的廢水指標可以滿足進超濾及反滲透的進水指標要求，如COD≤50 mg/L、濁度≤5 NTU、硬度≤150mg/L、堿度≤350mg/L、色度≤30 度，經本單元處理后出水水質可全面滿足回用做工業鍋爐給水的水質要求回用，并能保持膜的長周期運行。