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二十世紀60年代以后，測量儀表開始向精密化、小型化等方向發展。例如，為了提高差壓儀表的度，出現了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器；為使電磁流量計的傳感器小型化和改善信噪比，出現了用非均勻磁場和低頻勵磁方式的電磁流量計。此外，具有寬測量范圍和無活動檢測部件的實用卡門渦街流量計也在70年代問世。
隨著集成電路技術的迅速發展，具有鎖相環路技術的超聲（波）流量計也得到了普遍應用。微型計算機的廣泛應用，進一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計應用微型計算機后，可處理較為復雜的信號。
流量可利用各種物理現象來間接測量，所以流量測量儀表種類繁多。按測量方法分，流量計有差壓式、變面積式、容積式、速度式和電磁式等。
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