【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2019年7月31日，上海市科委科學(xué)儀器方法研究科研項目《掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法與應(yīng)用研究》(項目編號16142202500)驗收會議在上海市計量測試技術(shù)研究院召開。
與會專家聽取了項目組的匯報，審閱了項目組提供的驗收資料，經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家組認(rèn)為該項目組完成了項目任務(wù)書規(guī)定的研究內(nèi)容，達(dá)到了考核指標(biāo)，一致同意項目通過驗收。
該項目以微納米尺度金(Au)鍍層和銠(Rh)鍍層材料為對象，利用掃描電鏡及能譜儀和蒙特卡洛模擬，建立了能譜法測試結(jié)果與元素特征X射線深度分布曲線之間的關(guān)系。鍍層厚度能譜法檢測結(jié)果與掃描電鏡法測量結(jié)果的誤差不大于±10%，并提供了常見貴金屬鍍層厚度分析范圍。
本項目制定的掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法避免了傳統(tǒng)微納米金屬尺度鍍層厚度測試的弊端，可以快速、準(zhǔn)確、無損地進(jìn)行貴金屬鍍層厚度分析，為我國集成電路、貴金屬飾品等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供技術(shù)依據(jù)。
經(jīng)中國科學(xué)院上海科技查新咨詢中心檢索，該項目具有新穎性，綜合技術(shù)達(dá)到先進(jìn)水平。
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