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摘要2016年5月5日,科技部在武漢組織召開了首批國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目“寬光譜廣義橢偏儀設(shè)備開發(fā)”(項(xiàng)目編號:2011YQ160002)綜合驗(yàn)收會議。

  【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2016年5月5日,科技部在武漢組織召開了首批國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目“寬光譜廣義橢偏儀設(shè)備開發(fā)”(項(xiàng)目編號:2011YQ160002)綜合驗(yàn)收會議。該項(xiàng)目由武漢光迅科技股份有限公司牽頭,華中科技大學(xué)為儀器開發(fā)技術(shù)支持單位,武漢新芯集成電路制造有限公司、武漢珈瑋光伏照明有限公司、武漢光電國家實(shí)驗(yàn)室(籌)為應(yīng)用開發(fā)單位,武漢頤光科技有限公司為產(chǎn)業(yè)化單位。
  


  天津大學(xué)葉聲華院士、華東師范大學(xué)曾和平教授、中科院上海光機(jī)所周常河研究員、北京光學(xué)儀器廠駱東淼教授級高工等11名專家組成了本次會議驗(yàn)收技術(shù)專家組,葉聲華院士任專家組組長。驗(yàn)收會由科技部國家科技評估中心毛建軍副主任主持,湖北省科技廳條件處魏敏杰處長等出席會議。
  
  項(xiàng)目負(fù)責(zé)人劉世元教授代表項(xiàng)目組對項(xiàng)目執(zhí)行完成情況進(jìn)行了詳細(xì)匯報。截止項(xiàng)目驗(yàn)收時,研制完成寬帶消色差補(bǔ)償器、高精度雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制等核心部件與關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的寬光譜廣義橢偏儀設(shè)備4臺;獲授權(quán)發(fā)明3件,授權(quán)國內(nèi)發(fā)明29件,軟件著作權(quán)8件,商標(biāo)權(quán)1件。獲日內(nèi)瓦發(fā)明獎金獎1項(xiàng),發(fā)表SCI學(xué)術(shù)論文50篇;形成設(shè)計圖紙、工程工藝、軟件代碼等完整技術(shù)文檔各1套,質(zhì)量和可靠性保障方案1套;建成中試生產(chǎn)線1條,銷售儀器產(chǎn)品2臺。
  

  匯報結(jié)束后,專家組現(xiàn)場審閱了相關(guān)資料,隨后前往產(chǎn)業(yè)化單位武漢頤光科技有限公司考察了寬光譜廣義橢偏儀設(shè)備產(chǎn)品,對產(chǎn)品指標(biāo)和性能進(jìn)行了現(xiàn)場測試與考核,并就項(xiàng)目完成情況及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展提出現(xiàn)場質(zhì)詢。經(jīng)認(rèn)真討論,驗(yàn)收專家組認(rèn)為,該項(xiàng)目實(shí)施情況良好,完成了預(yù)期目標(biāo)并達(dá)到全部考核指標(biāo),一致同意通過驗(yàn)收。
  
  橢偏儀是一種測量偏振光狀態(tài)改變的重要科學(xué)儀器,本項(xiàng)目研制的廣義橢偏儀(也稱穆勒矩陣橢偏儀)代表了橢偏儀高水平,可以測得一個44階的穆勒矩陣共16個參數(shù),因而可以獲得更為豐富的測量信息。橢偏儀廣泛應(yīng)用于材料光學(xué)常數(shù)、納米薄膜厚度及表面特性表征等基礎(chǔ)科學(xué)研究與納米制造相關(guān)產(chǎn)業(yè),應(yīng)用范圍涵蓋集成電路、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)薄膜等眾多領(lǐng)域。
  
 ?。ㄔ瓨?biāo)題:國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“寬光譜廣義橢偏儀設(shè)備開發(fā)”順利通過項(xiàng)目綜合驗(yàn)收)

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