【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報道】近日，合肥市科技局發(fā)布了2022年度第一批市科技重大專項“揭榜掛帥”項目立項名單(共9項)，合肥物質(zhì)院安光所光學(xué)遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學(xué)系統(tǒng)研制及應(yīng)用”項目成功上榜，獲最高資助經(jīng)費500萬元。
項目團隊聚焦半導(dǎo)體前道檢測的關(guān)鍵技術(shù)問題，瞄準該領(lǐng)域骨干企業(yè)急需的高精密光學(xué)測量系統(tǒng)核心技術(shù)需求，發(fā)揮多學(xué)科交叉及工程設(shè)計優(yōu)勢，針對照明、成像和測焦三大模塊技術(shù)指標和任務(wù)，開展套刻量測設(shè)備中核心光學(xué)系統(tǒng)的研制，首次承擔“集成電路高精密套刻測量光學(xué)系統(tǒng)研制及應(yīng)用”揭榜掛帥項目。
據(jù)悉，合肥市“揭榜掛帥”項目是針對科技發(fā)展戰(zhàn)略重大問題和基礎(chǔ)研究、核心技術(shù)薄弱環(huán)節(jié)，采取的科技創(chuàng)新舉措，有利于激發(fā)科技創(chuàng)新主體和廣大科技人員的創(chuàng)造潛能和創(chuàng)新效能，從而提高科技攻關(guān)的質(zhì)量和效率。
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