平行平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
●平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
●平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規和千分尺卡規等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。
平行平晶共分四個系列，每個系列四塊。
| 系列 | 兩工作面的平行度 | 工作面的平面度 | 2/3d范圍內的平面度 |
| Ⅰ Ⅱ | 0.6 | 0.1 | 0.05 |
| Ⅲ | 0.8 | 0.1 | 0.05 |
| Ⅳ | 1.0 | 0.1 | 0.05 |
