產品介紹
HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計
INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、
輕便與經濟的規管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴（1.5×10-6至750乇）。HPG400提供高度的重復性
和再現性壓強測量，用于精確的濺射過程的壓強控制。
用 戶 優 越 性
◆ HPG400節省
產品介紹
HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計
INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、
輕便與經濟的規管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性
和再現性壓強測量，用于精確的濺射過程的壓強控制。
用 戶 優 越 性
◆ HPG400節省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與設置的復雜性
◆ 高壓強熱電離真空計1×10-5毫巴為要求高的過車工控制提供精確、可靠的壓強測量
◆ 用戶可選的熱電離發射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆ 皮拉尼聯鎖保護熱陰極防止它過早燒毀
◆ 高真空皮拉尼自動調整，減少操作人員的干預
◆ 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口
典 型 應 用
◆ 半導體制作中濺射工藝應用，電子學的媒體工業
◆ 工業鍍膜
◆ 在低至超高真空范圍中系統的一般真空測量和控制
訂 購 資 料
型號
HPG400
Without LCD display
HPG400
With LCD display
HPG400-SP
With Profibus DP1）
HPG400-SD
With DeviceNet1）
DN 25ISO-KF
353-520
353-521
353-525
353-527
DN 40CF-R
353-522
353-523
353-526
353-528
更換傳感器25ISO-KF
354-487
354-487
354-487
354-487
更換傳感器40CF-R
354-488
354-488
354-488
354-488
1）不帶液晶顯示器
附 件
