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上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質譜檢漏儀

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位于中國上海浦東外高橋保稅區的伯東企業(上海)有限公司創建于1995年12月,, 是日本伯東株式會社獨資設立的外商投資企業,公司注冊資金為200萬美元,到目前為止公司從業員工有400多人。
伯東企業(上海)有限公司真空產品事業部()專業銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);檢漏儀,質譜儀,真空系統等等, 維修技術力量雄厚,保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設備及調整工具和德國Pfeiffer專業培訓工程師,多年來致力于真空系統的安裝、調試、維修、拆機、保養等,具有優良的專業技能和服務意識,并獲得原廠*維修資質證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設備對維修后的產品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅持品質*、信譽*的原則,為廣大客戶提供了高品質的產品以及良好的售后服務。到目前為止已先后通過了美國UL安全認證、ISO9001-2000質量體系認證、ISO14001-1996環境體系認證。公司將在今后的發展中秉承以人為本,不斷開拓進取的精神,為滿足客戶的需求努力向專業化、優質化、集團化發展。

為將國外的高科技產品與中國經濟和社會的飛速發展緊密結合,為促進國內.貿易的快速發展,伯東企業(上海)有限公司,以高科技推動現代化,以高質量服務全中國, 堅持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業代理公司,代理上公司的 半導體設備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創新.求真.發展的基本原則, 精心構建誠信、互動、共贏的價值體系, 為所有的客戶提供優質的產品, 同時,提供全伯東集團網絡支持下的較早.Z快的信息與Z及時周到的服務,伯東公司愿意與世界各地的客戶聯手合作,共建一個誠信.發展.共同進步的良好環境.

 

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上海伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質譜檢漏儀 ASM 340 成功應用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。
PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化
上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質譜檢漏儀 產品詳情

氦質譜檢漏儀 PECVD 檢漏
上海伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質譜檢漏儀 ASM 340 成功應用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。

PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種 CVD 稱為等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)。

PECVD 檢漏原因PECVD 工作環境需要兩個必要條件:低溫和真空。可以通過上海伯東德國 Pfeiffer 機械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯用獲得穩定的高真空。由于 PECVD 結構復雜,組成部分較多,各組件通過各種法蘭接口連接,當長時間運行時可能造成接口或管路松動,導致真空度抽不下來,影響沉積薄膜的質量,這時就需要通過檢漏來排查漏點。常規的檢漏如涂肥皂水等方法,耗時耗力且精度低,容易受操作人員干擾,所以利用氦質譜檢漏儀的排查方法越來越廣泛使用。

PECVD 檢漏方法:采用檢漏儀的真空法進行檢漏,對懷疑有漏的地方噴氦氣,如果檢漏儀報警,則表明此處有漏!上海伯東客戶中科院某研究所目前現有多臺舊款 Adixen ASM 142 檢漏儀,因為設備增加,在經過工程師*后采購檢漏儀 ASM 340。
* 鑒于信息保密,更詳細的 PECVD 檢漏方法,歡迎:

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,請參考以下聯絡方式:
上海伯東:葉女士                             中國臺灣伯東:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
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