單軸傾角傳感器 型號:JK11/PM-TSI-90
庫號:M401800 查看hh
一 簡介
傾角傳感器用于測量單軸傾角的傳感器。它采用高精度MEMS芯片,儀器級精度,具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性,并具有自檢測(Self-Test)功能,可實現BIT(Built-In-Test)檢測.具有數字和模擬兩種輸出形式。該產品隨溫度和時間的變化仍有*的可靠性和穩定性。此外,它還具有高分辨率、低噪聲、承受高過載的特點。
本產品可用于傾角測量儀器、位置測量、加速度和運動測量、汽車測控、慣性導航、地震監控等測量系統中。
二 原理
單軸傾角傳感器是依據加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數關系的原理來測量傾角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅懸浮在晶片表面的結構,并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉,從而產生電壓輸出信號。
三 技術條件
1型號 JK11/PM-TSI-30 JK11/PM-TSI-90
2供電
2.1 供電電壓(V.DC) 5±5% 5±5%
2.2 輸入電流(mA) <6 <6
3性能
3.1測量范圍(°) ±30° ±90°
對應加速度范圍(g) ±0.5 ±1
3.2零位(0g)偏置電壓(V) 2.5±0.2 +2.5±0.2
3.3偏置溫漂溫度系數(mg/℃) ±0.1 ±0.1
3.4 輸出靈敏度(V/g) 4 2
3.5輸出電壓Uout(V) 0~5 0~5
3.6非線性度(%) ≤±0.5 ≤±1
3.7數字輸出位數(bits) 11 11
3.8帶寬(HZ,-3 dB) 0~28 0~28
3.9自檢測功能
ST輸出響應注①(V) 5±0.3 5±0.3
3.10輸出噪聲密度(μg/√Hz) 15 15
3.11長期穩定性(mg) 0.25 0.25
四.工作環境
4.1使用溫度(℃) -40~+125 -40~+125
儲存溫度(℃) -55~+125 -55~+125
4.2耐加速度:
4.2.1任意軸,不供電(g) >20000 >20000
4.2.2任意軸,供電(g) >20000 >20000
五.重量體積
5.1重量(g) ﹤30