1. 分辨率:高真空(二次電子)1.0nm at 30kV
(背散射電子): 2.0 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍數:1 to 1000000x
3.真空系統:電子槍真空<3*10 -7Pa
樣品室/低真空7-500Pa
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流2pA—200nA
6.內部直徑: 340mm
接口數: 20+
7.樣品臺行程:（5軸馬達控制）
X=130mm——馬達控制
Y=130mm——馬達控制
Z=100mm——馬達控制
R=360°連續--馬達控制
T=-80°至+90°--馬達控制
zui大樣品高度145mm.
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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