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  • Granville-Phillips真空質量監控儀

835VQM DPS Granville-Phillips真空質量監控儀

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號835VQMDPS
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時間2018-05-15
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區成都市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量102
  • 人氣值3693
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成都四洋科技有限公司是FSSC成員之一,公司總部位于中國*成都經濟技術開發區,在上海、重慶設有事務所。四洋科技是一家專業的真空獲得、真空檢漏、低溫設備制造供應商,公司擁有一批技術團隊是集生產、貿易、維修服務為一體的高科技公司,并先后參與了國家"863"、"125"部分項目研究合作,并建立了*穩定的合作關系。公司秉承科技Z前沿、技術*的理念,與MKS、Inficon英福康、Pfeiffer Vacuum、Adixen阿爾卡特、Busch 、CVI低溫泵、VAT真空閥門、Swagelok真空配件、Line Tech 流量計、Brooks Instrument 流量計等建立了戰略合作關系。
 

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擴展產品。其具有所有VQM的優勢特點,包括響應速度快和使用便捷,可用于工藝監測和工藝控制。
835分壓泵系統(DPS)提供了許多實時信息,可用來優化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程,從而提高產能、改善效果并節約資金。
Granville-Phillips真空質量監控儀 產品詳情

Granville-Phillips 835VQM(真空質量監控儀)分壓泵系統

Granville-Phillips的分壓泵系統是獲獎的高性能真空質量監控儀(VQMTM)的真空壓力范圍擴展產品。其具有所有VQM的優勢特點,包括響應速度快和使用便捷,可用于工藝監測和工藝控制。

835分壓泵系統(DPS)提供了許多實時信息,可用來優化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程,從而提高產能、改善效果并節約資金。

835VQM DPS典型應用包括:

監控反應氣體

確定工藝初始狀態

檢測污染物

控制反應氣體注入量

檢測泄漏

835VQM DPS產品特點:

工作壓力從3Torr5x10-9Torr

85毫秒內完成質量數從1145的氣體分壓力測量;并可提供1300質量數范圍的測量

可提供所識別的*個zui高比例的氣體成分的即時信息包括趨勢圖

精確的氫氣和氦氣檢測(無低質量數成分測量分壓超全壓現象)

85毫秒內完成1145質量數全部樣本數據的記錄;120毫秒內完成1300質量數全部樣本記錄

可利用真空系統內已有氣體進行單一氣體校準

緊湊型結構設計,可靈活安裝

835VQM DPS標準系統配置

整個835 DPS系統以下組件

835VQM分壓計

390802Micro-lon全壓計

帶孔板的節流閥

分子泵

粗抽泵帶喉管

內部連接電纜線

VQM控制器

VQM瀏覽軟件

關鍵詞:標準
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