金屬四探針測(cè)試儀 電阻率檢測(cè)儀概述
DP-RTS11型金屬四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法的，用于測(cè)試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
金屬四探針測(cè)試儀 電阻率檢測(cè)儀 型號(hào)：DP-RTS11
金屬四探針測(cè)試儀 電阻率檢測(cè)儀概述
DP-RTS11型金屬四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法的，用于測(cè)試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、探針測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由四探針測(cè)試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計(jì)算機(jī)相連接通過四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。
本儀器適用于工廠、科研單位、院校對(duì)金屬材料的電阻性能測(cè)試。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測(cè)量范圍
電阻率：10-7～10-2?.cm；
方塊電阻：10-6～10-1 ?/□；
電導(dǎo)率：102～107s/cm；
電阻：10-7～10-2?；
可測(cè)晶片直徑
140mmX150mm(配 2A 型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm(配 2B 型測(cè)試臺(tái))；
400mmX500mm(配 2C 型測(cè)試臺(tái))；
恒流源 電流量程分為 0.1A、1A、10A 三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式 000.00～199.99 mV；
分辨力：1µV；
輸入阻抗＞1000M?；
精度：±0.5% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000M?；
機(jī)械游移率：≤0.3％；
探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤
0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±１字；
整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 用標(biāo)準(zhǔn)電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測(cè)試≤±3％；
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤8％
軟件功能
軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、
小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成
直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可
選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要 1.5 秒標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65％；
