通過自動(dòng)定位功能，只需將測(cè)量樣品放在樣品臺(tái)上，就能夠在幾秒內(nèi)進(jìn)行自動(dòng)
對(duì)焦。由此，省略了以往需要手動(dòng)對(duì)焦的操作，大大提高了樣品測(cè)量的效率。
特點(diǎn)
- 即放即測(cè)！
通過自動(dòng)定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。
- 10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！
以*的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。
- 無標(biāo)樣測(cè)量！
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡(jiǎn)單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。
- 通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置！
通過廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫面上的樣品整體圖（zui大250×200mm）中方便地測(cè)量位置。
規(guī)格
| 型號(hào) | SFT-110 | |||
| 測(cè)量元素 | 原子序號(hào)22（Ti）～83（Bi） | |||
| X射線源 | 空冷式小型X射線管 | |||
| 檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管 | |||
| 準(zhǔn)直器 | ○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2種 | |||
| 樣品觀察 | CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察） | |||
| 對(duì)焦 | 激光點(diǎn)（自動(dòng)） | |||
| 濾波器 | 一次濾波器： 自動(dòng)切換 | |||
| 500（W） x400（D） x 150（H）mm | |||
| 操作部 | 電腦、19寸液晶 | |||
| 測(cè)量軟件 | 薄膜FP法 （zui多5層膜、10種元素）、標(biāo)準(zhǔn)曲線法 | |||
| 數(shù)據(jù)處理 | 配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word | |||
| 安全機(jī)構(gòu) | 樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能 | |||
| 選配 | ||||
| • 圖像處理軟件 | ||||
