機器測量范圍 | 輪廓儀 | 粗糙度儀 | |
Z軸(縱方向) | 50mm | ±400μm | |
X軸(橫方向) | 100mm | 100mm | |
精度 | Z軸指示精度 | ± 0.25% 全量程、±4μm/5mm | - |
測定分辨率 | 0.1μm/5mm,0.4μm/20mm,1μm/50mm | 800μm/0.01μm – 25μm/0.004μ m6.4μm/0.0001μm(選配高倍率傳感器) | |
X軸指示精度 | ±(1+0.02L)μm L為測量長度(mm) | - | |
測定分辨率 | 0.1μm | 100mm/0.04μm 或32,000點 | |
直線精度 | 1μm/100mm | (0.05 + 1.5L / 1000) μm L=測量長度 (mm |