薄膜測試儀/功能薄膜特性測試儀 型號:HZ-DHFC-1
儀器由四探針測試儀和薄膜電導率測量儀兩部分組成。具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機、測試架等部分組成。可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)、功能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性,還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長。
薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
◆ 測量范圍:電阻測量范圍:1×106~1×1017Ω;
電阻率:0.001~200Ωcm;
電導率:0.005~1000s/cm;
◆ 可測晶片直徑: 200mmX200mm;
◆ 探針:碳化鎢或高速鋼;探針間距:1±0.01mm;
◆ 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
◆ 本底真空度:≤10Pa,氣壓可控范圍:10~400Pa;
◆ 襯底加熱 溫度:室溫~200℃。
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2.表面電阻測試儀/薄膜表面電阻儀 型號:HAD-800
表面電阻測試儀/薄膜表面電阻儀 型號:HAD-800
該儀器帶有100V電極,可以配帶兩個5磅法碼,更準確的測量物體表面的阻抗,可用于測量防靜電地板,防靜電臺墊等.
此款儀器為袖珍便攜式電阻儀,根據(jù)IEC 61340-5在100V測試電壓下測量表面抗阻。該儀器在上端裝有2個平行的探針,將其置于物體表面即可進行表面抗阻測量。
在咪表的頂上有2個接頭,可以確保外置探針的使用。
規(guī)格:
測試范圍:103~1012
電源:9V電池
重量:180克
〖 關(guān)閉 〗