主要特點：
◆ 高放大倍數的6.5：1自動變焦鏡頭
◆ 高分辨率光柵尺0.1µm
◆ 高分辨率1/3彩色SSD傳感器
◆ 底光和頂光照明提高零件的清晰度
◆ 可編程分段控制LED增強光源照明系統
◆ 超高精密重載荷大尺寸玻璃工作臺
◆ 高速度、高精密交錯滾珠光杠傳動系統
◆ 激光、CCD三維輪廓掃描、自動尋邊
◆ 自動編程，批量檢測，全尺寸圖紙規格輸出
◆ 雙LCD液晶屏幕分別顯示零件圖象和軟件操作
◆ SPC統計過程分析，支持RE逆向工程
◆ 手動，CNC數控可選
 

技術參數：
型  號 VI2010 VI3030 VI6040 VIB9060 VIB1210

測量范圍 X 200mm 300mm 600mm 900mm 1200mm
Y 100mm 300mm 400mm 600mm 1000mm
Z 169mm 169mm 169mm 200/500mm 200/500mm
X-Y軸不確定度 U95=（1.5+L100）µm
Z軸不確定度 U95=（2.5+L100）µm
工作臺面積 457*336mm                557*534mm
工件zui大重量 25KG
X,Y軸驅動類型 CNC，電動，帶手動搖桿，快速移動
攝像系統 CCD相機，分辨率752*582，480TVL PAL制造
放大倍數（17’’顯示器） 使用標鏡頭30x-200x，使用附加0.5x及2.0x鏡頭 15x-400x
測量分辨率 0.5µm（0.25µm）
分辨率 0.5µm 0.5µm 0.5µm 0.1µm 0.1µm
承載重量 25kg
工作速度 150mm/秒