碳氫真空清洗機（在日本也叫碳化水素清洗機）是利用碳氫化合物對產品進行清洗的設備,這項清洗技術在日本發展的已經十分成熟.由于碳氫化合物不含ODS物質,對大氣臭氧層沒有損害,因而在環保方面受到環保部門及用戶的歡迎.碳氫化合物具有一定的特點,因此,對清洗設備的設計制造有一定的要求.
    本文以日本清洗技術協會與中國洗凈協會技術交流關于碳氫清洗劑的介紹的技術資料為主，結合筆者所在公司與日本清洗設備制造商的合作，在設備制造上積累的一定經驗，在碳氫清洗機逐漸在中國被接受的時候，與同行業及用戶交流經驗，推廣碳氫清洗技術，達到合理替代含ODS物質清洗機的目的。
    曾經被廣泛使用的清洗行業的優秀清洗劑CFC-113（氟里昂）以及1.1.1-三氯乙烷（乙烷）已經被全面禁止生產、進口。目前大致使用的有氯系清洗劑（三氯乙烷、三氯乙烯、二氯甲烷等）、水系清洗劑及碳氫系清洗劑等替代品，面對于大多數用戶而言，由于含氯系清洗劑可以通過對原有設備略加改造即可使用的優點，可以推測這些用戶曾有一段時間均改為使用含氯清洗劑。
     然而含氯清洗劑由于有毒，環境控制很嚴，且由于ISO14000系列對含氯清洗劑有限制要求，企業為了取得ISO14000證書，現在都開始改用碳氫系的清洗劑和水系清洗劑。而水系清洗劑的設備投資成本高、不易干燥，清洗后的產品常會生銹跡、斑點，還需考慮排水問題，及在中國水資源缺乏等問題，現在各廠家已逐步開始研究其替代品。
另一方面，使用非水系清洗劑時需要分開考慮可燃性和不可燃性的問題。碳氫系有可燃性，而且與含氯系清洗劑相比具有不易干燥的弱點。但這些方面已逐步在清洗設備上得到補償，從而預測碳氫系清洗劑將逐步成為當今替代清洗劑的主流。

碳氫五槽超聲波清洗機清洗工藝：

序分 清洗工程 清洗方式 清洗介質 清洗時間 使用溫度 過濾方式 加熱方式 真空脫氣 備注
  1 初      洗 超聲浸洗拋動+旋轉 炭化水型號另選 3–30min可以調節 常溫–100℃根具選用的清洗液定可以調節 筒式過濾 導熱油加熱 有 強制冷卻有
  2 精      洗 超聲浸洗拋動+旋轉 炭化水型號另選 3–30min可以調節 常溫–100℃根具選用的清洗液定可以調節 筒式過濾 導熱油加熱 有 強制冷卻有
  3 漂      洗 超聲浸洗拋動+旋轉 炭化水型號另選 3-30min可以調節 常溫–100℃根具選用的清洗液定可以調節 筒式過濾 導熱油加熱 強制冷卻有
  4   5 切液+真空干燥 高速風刀+旋轉真空干燥 高速熱   風 3-30min可以調節 RT-150℃ 中效過濾 電加熱 排氣有
  6 回      收 真空減壓蒸餾回收 炭化水型號另選 多段式蒸餾回收 - 導熱油加熱