NightN光學(xué)表面形貌測試儀HION產(chǎn)品介紹:
光學(xué)測試儀HION用于光學(xué)表面測試。該技術(shù)基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測光學(xué)表面反射并進入 Shack-Hartmann 波前傳感器進行進一步處理。
產(chǎn)品規(guī)格:
- 光學(xué)孔徑:10 至 50 mm(可選300 mm)
- 測量時間:10 ms
- 測量精度:32nm (P-V)
- 測量偏差:5µm(P-V)
- 光源:二極管激光器
- 光源波長:0.65µm
- CCD/CMOS相機
結(jié)果輸出:
- 峰-谷誤差P-V,均方根(RMS)
- 將像差展開為Seidel 和 Zernike 多項式(傾斜、散焦、像散等)
- 2D 和 3D 波前,干涉條紋