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  • WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-07-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量75
  • 人氣值276
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深圳市中圖儀器科技有限公司是*和軟件企業(yè),致力于精密計量、檢測儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,擁有一支以清華大學、西安交大等高校的碩士畢業(yè)生為骨干的技術隊伍,在專業(yè)技術上擁有近二十年的技術積累和實踐經(jīng)驗,潛心進行計量檢測技術的創(chuàng)新研究。

中圖儀器擁有約3000平方米的現(xiàn)代化科研辦公樓層,配備了*的科研設施和精密加工設備,建立了幾何量恒溫實驗室、傳感器老化實驗室和傳感器溫控實驗室,按照ISO9001標準進行生產(chǎn)管理,為客戶提供質(zhì)量*的產(chǎn)品。中圖儀器的銷售和服務網(wǎng)絡遍及國內(nèi)三十多個省、市、自治區(qū),并與國內(nèi)許多企業(yè)、科研院所保持著*密切的合作關系。10多年來,在精心研究長度、熱工、水流量等專業(yè)計量檢測技術的基礎上,研發(fā)*的CCD圖像識別技術,*設計制造SJ2000/3000系列指示表自動檢定儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2200系列小角度檢定儀、SJ2300系列氣浮式垂直度檢定儀、SJ2400系列影像式線紋測量儀、SJ200系列高度計、ZT5000/6000系列壓力自動校驗儀、ZT8000系列溫度自動檢定系統(tǒng)、SW2000系列攝像式全自動水表檢定裝置、ZT201系列全自動在線檢測儀等*儀器設備,促進了我國計量檢測裝備的技術進步。目前,中圖儀器擁有數(shù)十種自主開發(fā)的新技術產(chǎn)品,并具有多項技術,廣泛應用于政府計量質(zhì)量檢測機構、國防*、汽車、航空航天、冶金、機械、電力、石化等行業(yè)的實驗室。中圖儀器的大多數(shù)產(chǎn)品達到水平,部分產(chǎn)品處于前列的位置,打破了檢定儀器一直以來被西方發(fā)達國家壟斷的局面。中圖儀器參與了一些制定產(chǎn)品檢定國家標準的工作,為國家做出了應有的貢獻。

中圖儀器的使命,就是專注于精密計量儀器和自動檢測設備的創(chuàng)新發(fā)展,集光、機、電、信息技術于一體,用現(xiàn)代化的技術手段大幅提高檢測效率,力圖中國儀器的技術進步。

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WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)
WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品簡介

  WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù),同時生成Mapping圖;采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面的2D、3D參數(shù)。
  WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可廣泛應用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
 

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

◆ 集成厚度、測量模組和三維形貌測量模組,使用一臺機器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三維形貌的測量。
 

2、高精度厚度測量技術

◆  采用高分辨率光譜共焦對射技術對Wafer進行高效掃描。
◆ 帶多點傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤, 晶圓規(guī)格可支持至 12寸。
◆ 采用點地圖技術,可編程多點自動測量。
 

3、高精度三維形貌測量技術

◆ 采用光學白光干涉技術、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨力可到0.1nm;
◆ 隔振設計極大降低地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,獲得的測量重復性。
◆ 機器視覺技術檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點形貌進行自動化連續(xù)測量。
 

4、大行程高速龍門結構平臺

◆ 大行程龍門結構(400x400 x75mm),移動速度500mm/s。
◆ 高精度花崗巖基座和橫梁,整體結構穩(wěn)定、可靠。
◆ 關鍵運動機構采用高精度直線導軌導引、AC伺服直驅(qū)電機驅(qū)動,搭配分辨率0.1μm的光柵系
統(tǒng),保證設備的高精度、高效率。
 

5、操作簡單、輕松無憂

◆ 集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準備工作。
◆ 雙重防撞設計,避免誤操作導致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。
◆ 電動物鏡切換讓觀察變得快速和簡單。
 

三、應用場景

無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓厚度、翹曲度測量結果

  通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護膜或圖案的晶片的完整性。
 

無圖晶圓粗糙度測量

多文件分析細磨片25次測量數(shù)據(jù)

細磨片25次測量數(shù)據(jù)Sa曲線圖

  Wafer減薄工序中粗磨和細磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計算重復性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。
 
 

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關鍵詞:標準 傳感器
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