平面平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的平面度
平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件，例如，平面光學零件、高級平臺、平板、導軌、密封件等。平面平晶特別適用于計量單位、實驗室作為標準平面和樣板。
| 平面平晶的技術參數（備注：特殊規格、特殊材料平晶可定做） | ||||
| 平面直徑d(mm) | 基本參數 | |||
| 1級 | 2級 | |||
| d范圍內 | 2/3d范圍內 | d范圍內 | 2/3d范圍內 | |
| 30 | 0．03 | ---- | 0．1 | 0．05 |
| 45 | ||||
| 60 | ||||
| 80 | 0．05 | 0．03 | ||
| 100 | ||||
| 150 | ||||
| 200 | 0．08 | 0．05 | 0．12 | 0．06 |
| 250 | 0．1 | 0．05 | 0．05 | 0．08 |
| 300 | 0．15 | 0．09 | 0．09 | 0．1 |
