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半導體清洗機臺

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具體成交價以合同協議為準
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  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2025-05-28
  • 廠商性質生產廠家
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  • 產品數量11
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 蘇州芯矽電子科技有限公司是一家專業半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲 ,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供設備解決方案。

 

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半導體清洗機臺是晶圓制造中用于去除表面污染物(顆粒、金屬、有機物)的關鍵設備,通過化學濕法、兆聲波、噴淋或摩擦刷洗等技術實現納米級潔凈度。其核心工藝包括RCA標準清洗(SC-1/SC-2配方)、CMP后殘留處理及光刻膠剝離,兼容6-12英寸晶圓。設備具備自動化控制(溫度/濃度/流速調節)、藥液回收系統和干燥單元(如離心甩干+CDA吹掃),確保顆粒殘留<0.1顆/cm²、金屬污染<1×10¹? at
半導體清洗機臺 產品詳情

一、產品概述

半導體清洗機臺是晶圓制造工藝中用于去除表面污染物的核心設備,通過化學濕法、物理作用或二者結合的方式,清除硅片表面的顆粒、金屬殘留、有機物及氧化層。其廣泛應用于前道制程(如光刻膠剝離、柵極氧化前清洗)和后道工藝(如CMP后殘留處理),直接影響芯片良率與電性能。現代清洗機臺支持6-12英寸晶圓,兼容單片濕法、兆聲波、噴淋等多種技術,具備自動化控制、高效潔凈度及環保設計特點。

二、核心功能與技術優勢

多工藝清洗能力

標準RCA流程:嚴格遵循SC-1(堿性過氧化氫去膠)、SC-2(酸性氟化物去金屬)等配方,可定制化調整化學品濃度、溫度及處理時間。

兆聲波增強:高頻超聲波(20-100kHz)產生空化效應,剝離>99%的超細顆粒(≥25nm),避免機械損傷。

CMP后清洗:專用于化學機械拋光后殘留氧化物的清除,保障表面平整度。

高精度污染控制

顆粒清除:通過噴淋+兆聲波組合,顆粒殘留<0.1顆/cm2(≥25nm)。

金屬污染:SC-2步驟將金屬密度降至<1×101? atoms/cm2,滿足制程需求。

有機物去膠:高效分解光刻膠及助劑殘留,防止后續層間粘連。

智能化與自動化設計

參數精準調控:PLC系統實時監控流量、溫度、轉速,支持SECS/GEM協議對接MES系統,實現數據追溯。

多腔室模塊化:4-8個獨立腔室可選,支持并行處理不同工藝(如去膠、蝕刻、純水沖洗),提升產線效率。

靜電消除技術:腔體內集成離子風機,減少顆粒吸附風險,保障潔凈環境。

環保與節能特性

藥液回收系統:廢液分類回收率>99%,降低HF、H?O?等高危化學品消耗,符合RoHS標準。

低能耗模式:純水使用量<1L/min,離心干燥能耗較熱風烘干降低30%。

三、應用場景

前道制程:

光刻膠剝離(正膠/負膠清洗)。

柵極氧化前的納米級潔凈度保障。

刻蝕后通孔/溝槽清潔,避免殘渣影響沉積。

后道工藝:

CMP后殘留氧化物去除,提升平坦化效果。

芯片封裝前的背面減薄預處理。

特殊材料兼容:除單晶硅外,可處理多晶硅、氮化硅、金屬薄膜(如Al Pad、Cu布線)等。

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